Методические материалы по дисциплине «Методы литографии в наноинженерии» содержат ее нормативную базу, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы, необходимые для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.
Рекомендуем к прочтению
Методологии и технологии системного проектирования информационных систем. Учебник
Э. Р. Ипатова
Программирование ПРОТИВ проектирования
И. А. Семёнов
Проектирование программного обеспечения с использованием стандартов UML 2.0 и SysML 1.0
С. С. Девятов
Основы схемотехники микроэлектронных устройств
А. И. Белоус
Основы проектирования модульных магистральных автопоездов
М. С. Высоцкий
Компас-3D. Версии 5.11-8. Практическая работа
С. А. Лукянчук
VHDL. Эффективное использование при проектировании цифровых систем