Книга Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии
Валерий Михайлов
- Автор: Валерий Михайлов
- Жанр: Техническая литература, Учебно-методические пособия
- Год издания: 2011
- ISBN: 978-5-7038-3494-7
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана