Оценки пользователей:
93%
7%
157
13

Описание Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе

В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.

Рекомендуем к прочтению

Слабоустойчивые длиннопериодические структуры в металлических системах - Коллектив авторов
Слабоустойчивые длиннопериодические структуры в металлических системах
Коллектив авторов
Текстильное материаловедение: учебное пособие - Н. Н. Цветкова
Текстильное материаловедение: учебное пособие
Н. Н. Цветкова
Неорганические наноматериалы - Э. Г. Раков
Неорганические наноматериалы
Э. Г. Раков
Физико-химическая эволюция твердого вещества - И. В. Мелихов
Физико-химическая эволюция твердого вещества
И. В. Мелихов
Пористые порошковые материалы и изделия на их основе для защиты здоровья человека и охраны окружающей среды: получение, свойства, применение - М. В. Тумилович
Пористые порошковые материалы и изделия на их основе для защиты здоровья человека и охраны окружающей среды: получение, свойства, применение
М. В. Тумилович
Технологии конструкционных наноструктурных материалов и покрытий - Коллектив авторов
Технологии конструкционных наноструктурных материалов и покрытий
Коллектив авторов
Термодинамические расчеты в практике конструирования и применения сварочных материалов - Н. Ю. Борд
Термодинамические расчеты в практике конструирования и применения сварочных материалов
Н. Ю. Борд
Обработка и упрочнение поверхностей при изготовлении и восстановлении деталей - М. Л. Хейфец
Обработка и упрочнение поверхностей при изготовлении и восстановлении деталей
М. Л. Хейфец