Книга Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
Геннадий Кузнецов
- Автор: Геннадий Кузнецов
- Жанр: Учебно-методические пособия, Электроника
- Год издания: 2012
- Издательство: МИСиС
Описание Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы.Рекомендуем к прочтению
Анализ проблем применения интегрированных сред проектирования микропроцессорных систем
Е. В. Бурькова
Сверхскоростная твердотельная электроника. Том 1. Приборы общего назначения
В. П. Дьяконов
Сверхскоростная твердотельная электроника. Том 2. Приборы специального назначения
В. П. Дьяконов
Основы технологии микромонтажа интегральных схем
В. А. Емельянов
10 увлекательных проектов аналоговой электроники
Марк Е. Хернитер
Основы электроники. Учебное пособие для вузов
А. Л. Марченко
Генерация и генераторы сигналов
В. П. Дьяконов
Спутниковое телевидение в вашем доме
Дерек Стивенсон