Книга Handbook of 3D Integration, Volume 3
Группа авторов
- Автор: Группа авторов
- Жанр: Материаловедение
- ISBN: 9783527670130
- Издательство: John Wiley & Sons Limited
Описание Handbook of 3D Integration, Volume 3
Edited by key figures in 3D integration and written by top authors from high-tech companies and renowned research institutions, this book covers the intricate details of 3D process technology. As such, the main focus is on silicon via formation, bonding and debonding, thinning, via reveal and backside processing, both from a technological and a materials science perspective. The last part of the book is concerned with assessing and enhancing the reliability of the 3D integrated devices, which is a prerequisite for the large-scale implementation of this emerging technology. Invaluable reading for materials scientists, semiconductor physicists, and those working in the semiconductor industry, as well as IT and electrical engineers.Рекомендуем к прочтению
Слабоустойчивые длиннопериодические структуры в металлических системах
Коллектив авторов
Текстильное материаловедение: учебное пособие
Н. Н. Цветкова
Неорганические наноматериалы
Э. Г. Раков
Физико-химическая эволюция твердого вещества
И. В. Мелихов
Пористые порошковые материалы и изделия на их основе для защиты здоровья человека и охраны окружающей среды: получение, свойства, применение
М. В. Тумилович
Технологии конструкционных наноструктурных материалов и покрытий
Коллектив авторов
Термодинамические расчеты в практике конструирования и применения сварочных материалов
Н. Ю. Борд
Обработка и упрочнение поверхностей при изготовлении и восстановлении деталей
М. Л. Хейфец