Книга Resonant MEMS
Группа авторов
- Автор: Группа авторов
- Жанр: Электроника
- ISBN: 9783527676361
- Издательство: John Wiley & Sons Limited
Описание Resonant MEMS
Part of the AMN book series, this book covers the principles, modeling and implementation as well as applications of resonant MEMS from a unified viewpoint. It starts out with the fundamental equations and phenomena that govern the behavior of resonant MEMS and then gives a detailed overview of their implementation in capacitive, piezoelectric, thermal and organic devices, complemented by chapters addressing the packaging of the devices and their stability. The last part of the book is devoted to the cutting-edge applications of resonant MEMS such as inertial, chemical and biosensors, fluid properties sensors, timing devices and energy harvesting systems.Рекомендуем к прочтению
Анализ проблем применения интегрированных сред проектирования микропроцессорных систем
Е. В. Бурькова
Сверхскоростная твердотельная электроника. Том 1. Приборы общего назначения
В. П. Дьяконов
Сверхскоростная твердотельная электроника. Том 2. Приборы специального назначения
В. П. Дьяконов
Основы технологии микромонтажа интегральных схем
В. А. Емельянов
10 увлекательных проектов аналоговой электроники
Марк Е. Хернитер
Основы электроники. Учебное пособие для вузов
А. Л. Марченко
Генерация и генераторы сигналов
В. П. Дьяконов
Спутниковое телевидение в вашем доме
Дерек Стивенсон