Книга Ferroelectric Dielectrics Integrated on Silicon
Группа авторов
- Автор: Группа авторов
- Жанр: Электроника
- ISBN: 9781118602768
- Издательство: John Wiley & Sons Limited
Описание Ferroelectric Dielectrics Integrated on Silicon
This book describes up-to-date technology applied to high-K materials for More Than Moore applications, i.e. microsystems applied to microelectronics core technologies. After detailing the basic thermodynamic theory applied to high-K dielectrics thin films including extrinsic effects, this book emphasizes the specificity of thin films. Deposition and patterning technologies are then presented. A whole chapter is dedicated to the major role played in the field by X-Ray Diffraction characterization, and other characterization techniques are also described such as Radio frequency characterization. An in-depth study of the influence of leakage currents is performed together with reliability discussion. Three applicative chapters cover integrated capacitors, variables capacitors and ferroelectric memories. The final chapter deals with a reasonably new research field, multiferroic thin films.Рекомендуем к прочтению
Анализ проблем применения интегрированных сред проектирования микропроцессорных систем
Е. В. Бурькова
Сверхскоростная твердотельная электроника. Том 1. Приборы общего назначения
В. П. Дьяконов
Сверхскоростная твердотельная электроника. Том 2. Приборы специального назначения
В. П. Дьяконов
Основы технологии микромонтажа интегральных схем
В. А. Емельянов
10 увлекательных проектов аналоговой электроники
Марк Е. Хернитер
Основы электроники. Учебное пособие для вузов
А. Л. Марченко
Генерация и генераторы сигналов
В. П. Дьяконов
Спутниковое телевидение в вашем доме
Дерек Стивенсон