Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.
Книги цикла
Сборка и монтаж электронных устройств
А. М. Медведев
Основы схемотехники микроэлектронных устройств
А. И. Белоус
Датчики: Справочное пособие
Игорь Минаев
Квантовый транспорт в устройствах электроники
В. К. Неволин
Библиотека функциональных ячеек для проектирования полузаказных микросхем серий 5503 и 5507
А. Н. Денисов
Нанотехнологии в электронике. Выпуск 2
Коллектив авторов
Полупроводниковая силовая электроника
А. И. Белоус
Проектирование пьезоэлектрических датчиков на основе пространственных электротермоупругих моделей
М. В. Богуш
Рекомендуем к прочтению
Анализ проблем применения интегрированных сред проектирования микропроцессорных систем
Е. В. Бурькова
Сверхскоростная твердотельная электроника. Том 1. Приборы общего назначения
В. П. Дьяконов
Сверхскоростная твердотельная электроника. Том 2. Приборы специального назначения