Книга Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Л. А. Сейдман
- Автор: Л. А. Сейдман
- Серия: Мир материалов и технологий (Техносфера)
- Жанр: Техническая литература, Справочная литература
- Год издания: 2014
- ISBN: 978-5-94836-369-1
- Издательство: Техносфера
Описание Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.Книги цикла
Магнитомягкие материалы. Энциклопедический словарь-справочник
Юрий Николаевич Стародубцев
Плазменно-электролитическое модифицирование поверхности металлов и сплавов. В 2 томах. Том 2
Коллектив авторов
Легкие баллистические материалы
Коллектив авторов
Микроскопические методы исследования материалов
Эшли Кларк
Полимерные нанокомпозиты
Коллектив авторов
Наноструктурные материалы
Коллектив авторов
Военные нанотехнологии. Возможности применения и превентивного контроля вооружений
Юрген Альтман
Физические основы, методы исследования и практическое применение пьезоматериалов
В. А. Головнин
Рекомендуем к прочтению
Афоризмы и мысли
Сергей Герасимов
Рекорды в мире природы
Кристина Ляхова
Планирование на предприятии
Мария Васильченко
Управление персоналом
Людмила Доскова
Карта вашего рождения
Елизавета Данилова
Прогноз событий вашей жизни
Елизавета Данилова
Сборник основных дат и событий школьного курса отечественной и зарубежной истории с древнейших времен до начала XXI в.
К. В. Волкова
